JJF 1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范

本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备（人体放电HBM、机器放电MM和闩锁放电Latch-up模型）的校准。
JJF 1238—2022《集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范》，为适应相关国际测试标准的变化，增加了机器模型、闩锁模型放电波形的校准，完善了集成电路静电放电测试设备校准方法。