中国矿业大学教材建设工程资助教材 薄膜的设计、制备及应用 王月花,黄飞 2016年版
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资料介绍
中国矿业大学教材建设工程资助教材 薄膜的设计、制备及应用
作者:王月花,黄飞
出版时间:2016年版
内容简介
《薄膜的设计制备及应用》综合了国内外现有的薄膜光学和薄膜技术的研究内容、体系,参考了新的薄膜技术与理论发展的新成就,并将这些新技术融人教材。全书主要介绍了薄膜光学的基本理论、薄膜制备方法、薄膜光学的特性测试方法及当下热点的薄膜材料体系。《薄膜的设计制备及应用》既可作为相关专业高年级本科生及研究生的教学用书,也可供广大从事薄膜科学与技术的工程技术人员、科技工作者参考。
目录
1 绪论
1.1 薄膜光学概述
1.2 电磁理论基础
思考题与习题
2 光学薄膜特性的理论计算
2.1 光学薄膜特性计算方法
2.2 光学薄膜的普遍定理
2.3 单一界面上的反射率和透射率
2.4 单层介质膜的反射率
2.5 多层介质膜的反射率
思考题与习题
3 光学薄膜系统的设计
3.1 减反射膜
3.2 高反射膜
3.3 分束镜
3.4 截止滤光片
思考题与习题
4 薄膜制备技术
4.1 真空技术基础
4.2 薄膜制备方法
4.3 薄膜厚度的均匀性
4.4 膜层厚度的监控
思考题与习题
5 薄膜的形成与结构
5.1 凝结过程
5.2 核的形成与生长过程
5.3 薄膜的形成与生长
5.4 薄膜的结构与缺陷
思考题与习题
6 薄膜的表面与界面
6.1 表面界面特征与现象
6.2 吸附机理与吸附膜的形成机理
6.3 表面扩散与界面扩散
6.4 界面电气现象
6.5 界面接触效应
6.6 薄膜中的电迁移现象
思考题与习题
7 薄膜特性的测试
7.1 薄膜光学常数的测量
7.2 薄膜光学性能的测量
7.3 薄膜成分的表征方法
7.4 薄膜结构的表征方法
7.5 薄膜附着力的测量方法
思考题与习题
8 几种重要的功能薄膜材料
8.1 半导体薄膜
8.2 铁电薄膜
8.3 光学薄膜
思考题与习题
参考文献
作者:王月花,黄飞
出版时间:2016年版
内容简介
《薄膜的设计制备及应用》综合了国内外现有的薄膜光学和薄膜技术的研究内容、体系,参考了新的薄膜技术与理论发展的新成就,并将这些新技术融人教材。全书主要介绍了薄膜光学的基本理论、薄膜制备方法、薄膜光学的特性测试方法及当下热点的薄膜材料体系。《薄膜的设计制备及应用》既可作为相关专业高年级本科生及研究生的教学用书,也可供广大从事薄膜科学与技术的工程技术人员、科技工作者参考。
目录
1 绪论
1.1 薄膜光学概述
1.2 电磁理论基础
思考题与习题
2 光学薄膜特性的理论计算
2.1 光学薄膜特性计算方法
2.2 光学薄膜的普遍定理
2.3 单一界面上的反射率和透射率
2.4 单层介质膜的反射率
2.5 多层介质膜的反射率
思考题与习题
3 光学薄膜系统的设计
3.1 减反射膜
3.2 高反射膜
3.3 分束镜
3.4 截止滤光片
思考题与习题
4 薄膜制备技术
4.1 真空技术基础
4.2 薄膜制备方法
4.3 薄膜厚度的均匀性
4.4 膜层厚度的监控
思考题与习题
5 薄膜的形成与结构
5.1 凝结过程
5.2 核的形成与生长过程
5.3 薄膜的形成与生长
5.4 薄膜的结构与缺陷
思考题与习题
6 薄膜的表面与界面
6.1 表面界面特征与现象
6.2 吸附机理与吸附膜的形成机理
6.3 表面扩散与界面扩散
6.4 界面电气现象
6.5 界面接触效应
6.6 薄膜中的电迁移现象
思考题与习题
7 薄膜特性的测试
7.1 薄膜光学常数的测量
7.2 薄膜光学性能的测量
7.3 薄膜成分的表征方法
7.4 薄膜结构的表征方法
7.5 薄膜附着力的测量方法
思考题与习题
8 几种重要的功能薄膜材料
8.1 半导体薄膜
8.2 铁电薄膜
8.3 光学薄膜
思考题与习题
参考文献
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