SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
- 资料名称：SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
- 英文名称：Test method for measuring etch pit density(EPD)in low dislocation density indium phosphide wafers
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资料介绍
本标准规定了低位错密度磷化铟（InP）抛光片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法。
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