SJ/T 11667-2017 电真空器件氢气炉能源消耗规范

本标准规定了电真空器件氢气炉能源消耗评价指标、等级要求和计算方法。
本标准适用于电子行业各企业电真空器件生产运行中工艺温度在700℃～1600℃的退火、钎焊和陶瓷金属化等工序使用的内热式电阻加热器、全金属隔热屏、氢气保护的间歇式电炉。